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- 2021-05-28 09:11大族激光：光刻機項目分辨率3-5μm，聚焦分立器件/LED產品應用
- 2021-05-07 16:09光刻機照明系統透鏡表面膜層生長更加均勻
- 2021-03-29 09:45從小作坊，到全球第三！國產激光巨頭年賺超9億，開始銷售光刻機
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- 2021-02-25 10:14上海理工顧敏院士團隊追逐光刻“極值”發明納米光學寫入創新技術
- 2021-01-27 09:58光刻機的自主研發的路要怎么走？
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