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- 2025-06-10 16:11ASML稱中國早已研發國產光刻機：中科院成功研發DUV光源技術 能生產3nm
- 2025-03-24 09:36科學家打造緊湊型固態激光系統，可用于提高半導體光刻精度
- 2025-03-24 08:59創新激光技術：科學家研發緊湊型系統，半導體光刻精度大飛躍
- 2025-01-08 09:46事關光刻機！這一新型部件或重塑現有系統 光源效率有望提升10倍
- 2024-11-26 14:57飛秒激光刻出不可復制的證卡
- 2024-11-21 09:40僅需0.1秒！飛秒激光刻出證卡專屬“指紋”
- 2024-10-09 15:27科普：EUV 光刻機的 13.5nm 光源是如何實現的？
- 2024-08-26 16:54國內首臺超大尺寸激光刻蝕設備發布
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