激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。
二.SJ6000激光干涉儀測量方法（垂直度測量）
垂直度的測量是直線度測量在二維方向上的延伸，進行垂直度測量就是在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。
共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學直角尺用于至少一次測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。
垂直度測量應用
機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標測量機等）
垂直度測量通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度。垂直度誤差可能是導軌磨損、事故造成導軌損壞或機器地基差或龍門雙驅(qū)動機器上的兩原點傳感器未準直造成的。垂直度誤差將對機器的定位精度及插補能力產(chǎn)生直接影響。
典型情況下對于超過1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是唯一的選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。
X,Y軸垂直度對準
X,Y工作臺和水平面垂直度測量光學鏡組的設定如圖所示。不管是什么類型的XY平臺，包括龍門型或者混合型或者其他類型的XY平臺，無論是大型或者小型平臺，重要的是有一個共同的參考基準，就如圖中所示的直線度反射鏡。測量過程中直線度反射鏡保持不動。
