在中國科學院和廣東省共同支持下，由中科院半導體研究所負責研制開發的48片MOCVD首臺樣機取得重大進展。樣機不僅經過了真空、壓力、溫度、旋轉、自動傳輸等一系列設備性能指標實驗考核，同時進行了氮化鎵以及氮化物LED的外延工藝考核，所外延的氮化物材料，分別由山東華光、杭州士蘭明芯，武漢迪源、上海藍寶、揚州中科等國內主流芯片公司進行了性能測試和氮化物LED芯片制作。經多家第三方檢測的結果表明，用此48片MOCVD樣機外延的氮化鎵材料，其各項性能指標達到同類國際MOCVD設備產品的水平。

      2012年3月10日，在廣東省與中國科學院在北京舉行的全面戰略合作座談會上，首臺48片MOCVD樣機研制成果向廣東省委書記汪洋做了專項匯報，省長朱小丹，中科院院長白春禮等領導做了專門匯報，我所李晉閩研究員參加了匯報會。會上白春禮院長提到，近年來，中科院與廣東省積極推進產學研合作，“MOCVD國產化”等重大科技項目合作取得重大突破，在基礎研究和原始創新等方面實現了重大進展，打下了扎實的合作基礎。中科院將加快推進院省全面戰略合作，進一步支持廣東區域創新體系建設，助推廣東產業轉型升級。會議期間，還舉行了MOCVD裝備成果與用戶進行的應用合作簽約，汪洋書記、白春禮院長等領導共同出席了簽約儀式，我所曾一平研究員等參加了簽約儀式。(中國科學院半導體研究所)
 

48片MOCVD樣機