德國(guó)PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移臺(tái) 型號(hào) P-733.3DD

公司介紹：

北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司是一家從事歐洲工業(yè)產(chǎn)品進(jìn)口貿(mào)易的公司。主要產(chǎn)品有工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備、機(jī)電設(shè)備、液壓設(shè)備、電氣設(shè)備和零部件等產(chǎn)品。公司總部于2007年在德國(guó)成立。公司自成立以來，一直以德國(guó)公司的身份為國(guó)內(nèi)一些貿(mào)易商，設(shè)備商及終端客戶提供產(chǎn)品代購(gòu)服務(wù)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

共聚焦顯微鏡

掩模/晶圓定位

表面測(cè)量技術(shù)

納米壓印

顯微操縱

圖像處理/穩(wěn)定

高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位

型號(hào)：P-733.3DD

主動(dòng)軸：X、Y、Z

集成傳感器：電容式

-20至120伏時(shí)的開環(huán)行程：33微米×33微米×14微米

行程，閉環(huán)：30微米×30微米×10微米

分辨率，開環(huán)：0.1納米

分辨率，閉環(huán)：0.1納米

線性誤差（X、Y）：0.03%

線性誤差（Z）：0.03%

重復(fù)精度（X、Y）：<2納米

重復(fù)精度（Z）：<1納米

螺距（X、Y）：<±5微弧度

偏轉(zhuǎn)角（X、Y）：<±10微弧度

Z向運(yùn)動(dòng)時(shí)的傾斜：<±5微弧度

剛度：4（Z向上為10）牛/微米

諧振頻率，空載：1200（Z向上為1100）赫茲

帶120克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：–赫茲

帶200克負(fù)載時(shí)的諧振頻率：530（Z向上為635）赫茲

運(yùn)動(dòng)方向上的推/拉力：50/20牛